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<Concise Report>반도체·디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스 NF3 시장(2018년 12월조사)(일본어판)
자료코드: R61200202 / 2018년 4월 15일 발행 /B5 23/ 30,000엔(PDF로만 제공)
YDB회원 열람 불가


◆조사개요

본 조사 리포트는 정기간행물 Yano Eplus 2019년 1월호에 게재된 내용입니다.

■리서치 내용

~반도체·디스플레이 시장동향과 함께 반도체 공정의 미세화와
 디스플레이 시장의 유기 EL전환이 향후 수요 증가요인~

1. 반도체·디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스란
1-1. 반도체·디스플레이 제조공정에서 CVD의 이용상황
【표 1. LPCVD와 PECVD의 특징】
【그림 1.  PECVD 장치의 구조】
1-2. 반도체·디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스의 정의
2. 반도체·디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스의 종류
2-1. 삼불화질소(NF3)
【그림 2. NF3의 구조】
2-2. 불소(F2)
3. 반도체·디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스 NF3의 용도분야
3-1. 반도체(반도체 시장의 기술 동향과 NF3 가스의 수요 관계)
3-2. 디스플레이(디스플레이 시장의 기술동향과 NF3 가스의 수요 관계)
3-3. 태양전지
4. 반도체 및 디스플레이의 시장규모 추이와 예측(WW시장)
4-1. 반도체 시장규모 추이와 예측(WW시장)
(1) 메모리 반도체(DRAM, NAND 플래시)의 시장규모 추이와 예측(WW시장)
【도·표 1. 메모리 반도체(DRAM, NAND 플래시)의 WW시장규모 추이와 예측(금액:2016-2021년 예측)】
(2) 파운드리의 WW시장규모 추이와 예측(WW시장)
【도·표 2. 파운드리의 WW시장규모 추이와 예측(금액:2016-2021년 예측)】
4-2. 디스플레이 시장규모 추이와 예측(WW시장)
(1) 액정·유기 EL의 시장규모 추이와 예측(WW시장)
【도·표 3. 액정·유기 EL의 WW시장규모 추이와 예측(금액:2016-2021년 예측)】
①디스플레이 시장의 동향
5. NF3 가스에 관한 시장규모 추이와 예측
5-1. NF3 가스의 시장규모 추이와 예측
【도·표 4. NF3 가스의 WW시장규모 추이와 예측(수량:2016-2021년 예측)】
5-2. NF3 가스의 메이커 점유율
【도·표 5. NF3 가스의 주요 메이커 각사의 출하수량 및 점유율(수량:2017-2018년 전망)】
6. NF3 가스의 주요 메이커의 생산능력 및 제작방법
6-1. NF3 가스의 주요 메이커의 생산능력
【도·표 6. NF3 가스의 주요 메이커 각사의 생산능력(수량:2018년)】
6-2. NF3 가스의 제작방법
【표 2. NF3 가스의 주요 메이커 각사의 양산 제작방법의 계열】
7. NF3에 관련한 기업·단체의 대응동향
7-1. SK머티리얼즈 주식회사
【표 3. SK머티리얼즈 ECF법 및 DF법에 관한 특허】
7-2. 주식회사 효성화학
【표 4. 효성화학 ECF계 제작방법에 관한 특허】
7-3. 간토덴카공업 주식회사
【표 5. 간토덴카공업 DF계 제작방법에 관한 특허】
7-4. Versum Materials, Inc.(구 Air Products & Chemicals)
【표 6. Versum Materials DF계 제작방법에 관한 특허】

https://blog.naver.com/yanokorea/221531263090
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